田中貴久准教授「次世代1nmノード以降の半導体に向けた配線材料を開拓」プレスリリース

田中貴久准教授はシステムデザイン工学科の多田宗弘教授らの研究グループにおいて，「次世代1nmノード以降の半導体に向けた配線材料を開拓－新材料配線に関する4アプローチでポストCu配線の実現に向けた指針を提示－」のプレスリリースを発表しました．